半導体装置向け量産確立へ…TOTO、次世代セラミックス部品に710億円

「半導体装置向け量産確立へ…TOTO、次世代セラミックス部品に710億円」　ＴＯＴＯは半導体製造装置向け部品を手がけるセラミック事業で７１０億円の設備投資を実施し、次世代品の量産体制を確立する。ＴＯＴＯファインセラミックス豊前工場（福岡県豊前市）で６００億円を投じ、静電チャックとＡＤ部材の次世代品量産に向けた生産施設を建設、２０２９年度上期の生産開始を予定している。また、大分県の２拠点でも１１０億円を投じる。