エネルギー変換効率4割増…理研など、レーザー２本でEUV光源

「エネルギー変換効率4割増…理研など、レーザー２本でEUV光源」　理化学研究所の高橋栄治チームディレクターと宇都宮大学の長浜直輝大学院生、東口武史教授らは、２本のレーザーで極端紫外線（ＥＵＶ）光源を作ることに成功した。レーザー１本よりもエネルギー変換効率が４割向上した。１本の高出力レーザーに頼るのではなく、複数の高効率レーザーを束ねて出力を確保する装置設計が可能になる。