精度35％向上…ニコン、ウエハーの歪み計測で新機種

「精度35％向上…ニコン、ウエハーの歪み計測で新機種」　ニコンは半導体製造の露光工程前にウエハーの歪みを計測する「アライメントステーション」で、従来機種から計測精度を約３５％、生産性を約１０％向上した新機種「Ｌｉｔｈｏ　Ｂｏｏｓｔｅｒ １０００＝写真」を２０２７年１月に発売する。露光工程前のウエハー全面を計測し、補正値を露光装置にフィードフォワードすることで高精度な重ね合わせ補正に役立つ。ウエハーホルダ構造を見直し、吸着時の誤差を大幅に低減した。計測機構の光源を強化することで、多様なプロセス条件に対応。安定的な計測により、歩留まりの高い工程の実現に貢献する。