キヤノン、半導体露光装置の生産1.5倍…「急激に引き合いが増えている」

「キヤノン、半導体露光装置の生産1.5倍…「急激に引き合いが増えている」」　キヤノンは半導体製造後工程向け露光装置の生産能力を２０２９年に２６年比で５０％増に引き上げる。先進後工程向け装置の引き合いが２５年半ばごろから急増しており、宇都宮事業所（宇都宮市）内の新工場の生産拡大や生産効率向上などで供給力を高める。大型基板対応製品の開発も進める。